潔凈車間也叫無塵車間、潔凈室(Clean Room）、無塵室，是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。

潔凈車間建筑方式可分為土建結構和裝配式兩種，其中普遍采用裝配式。

裝配式潔凈車間系統(tǒng)主要由初，中，高三級空氣過濾的空調送風回風和 排風系統(tǒng)；動力及照明系統(tǒng)；工作環(huán)境參數的監(jiān)測報警消防和通訊系統(tǒng)；人流和物流系統(tǒng)；工藝管路系統(tǒng)；維護結構及靜電地面處理等各方面所要求的實施內容組成，形成空調凈化系統(tǒng)工程所包含的整個設備和器材的配套和建筑安裝內容。

半導體組件空間單位都是以微米計算，因此微塵顆粒沾附在制作半導體組件的晶圓上，便有可能影響到其上精密導線布局的樣式，造成短路或斷路的嚴重后果。所有半導體制程設備都必須安置在隔絕粉塵進入的密閉空間中，這就是半導體潔凈車間的來由。

半導體潔凈車間的相關的技術和使用管理辦法：
1.半導體潔凈車間內部要確保粉塵只出不進，因此潔凈車間室內要保持大于大氣壓的環(huán)境。這就需要用大型鼓風機將經凈化設備的空氣源源不絕地打入潔凈車間中。
2.為保持恒溫與恒濕，大型空調設備須搭配前述之鼓風加壓系統(tǒng)使用。鼓風機加壓多久，空調就得開多久。
3.所有經凈化設備的空氣流動方向均由上往下為主，因此，潔凈車間室內空間設計或機臺擺放應避免突兀，使塵埃細菌等在潔凈車間內回旋停滯的機會與時間減至最低程度。
4.所有建材均以不易產生靜電吸附的材質為主。
5.所有人或事物進出潔凈車間，人必須穿配套防塵服，人或事物都要經過風淋室吹淋以將表面粉塵先行除掉。
6.半導體潔凈車間內水的使用只限用去離子水。一則防止水中粉粒污染晶圓，二則防止水中重金屬離子（如鉀、鈉離子）污染金氧半晶體管結構之帶電載子信道，影響半導體組件的工作特性。去離子水是最佳的溶劑與清潔劑，在半導體工業(yè)之使用量極為驚人！
7.半導體潔凈車間所有用得到的氣源，包括吹干晶圓及機臺空壓所需要的，都得使用氮氣 。